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直读光谱仪的光谱入射光路结构
发布时间：2020-01-10 11:03:14 点击：5271
直读光谱仪入射光路
直读光谱仪的入射光路指光谱仪在曝光阶段，将光源激发出来后的光谱光通量全部射入光学室内凹面光栅上。在凹面光栅狭缝扫描时，入射光路输送从汞灯发生的光进入光栅产生Hg的谱线（汞线253，6nm)，由光电倍增管输出光电流信号再经过放大器放大，用微安表指示出来。当光路采用聚焦透镜直射入射狭缝到达凹面光栅的分光系统时，不用Hg线进行入射狭缝调整，而是采用元素扫描（通常选择基体元素）来校准入射狭缝。
入射光路结构
入射光路除入射狭缝（25m宽）之外还有球面反射镜。它的作用是将两个样品台上激发的光谱亮度全部反射到入射狭缝。为了提高紫外光200nm以下元素的反射能力，凹面反射镜表面需涂氟化镁，入射狭缝和球面反射镜装在真空室内。
光路中具有两个反射镜，其中之一是在右样品台激发样品时，使反射镜进入光路，汞灯反射镜退出光路，将激发光亮反射到球面反射镜上。然后进入入射狭缝到达凹面光栅分光。
移动直读光谱仪
Hg反射镜是供狭缝扫描时用的，当左样品架激发样品时，进入曝光阶段，Hg反射镜将退出光路，使左样品架激发光引入球面反射镜，进入入射狭缝到达凹面光栅进行分光。
光路中两个反射镜区域处于非真空状态。对于短紫外线的元素（C、P、S、As、B、Sn等等）这是一个致命的问题。这个区域中存在氧气、空气、水汽将200nm以下波段的辐射吸收掉。光电直读光谱仪无法分析这些元素的含量。氧对于从130～195nm的辐射都有吸收，而在140nm附近吸收最激烈。
创想直读光谱仪对此重新研制了新的光路结构，使得氩气使用的含量变少了，并且使用真空泵来节省氩气的消耗，一般平均一罐氩气可以使用5-6天，而创想采用了这种结构后，氩气的使用大大减少，并且上述致命问题得到解决。
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